La válvula de hendidura de la serie XGT es apropiada para la válvula de partición entre la cámara presurizada de carga y la cámara de transferencia, y entre la cámara de transferencia y la cámara de proceso en el equipo de fabricación del semiconductor, etc.
Junta de sellado con contacto: protección de los fuelles
Amortiguación elástica para apertura y cierre: absorción de impactos
